Evactron SoftClean EP，產品型號：91000-15。

Evactron SoftClean EP，描述：

規格：

• 清潔 SEM/TEM 樣品

• 清潔 TEM 網格/樣品棒

• 惰性樣品儲(chu) 存

• 隻需將空氣用於(yu) 氧自由基，或將其他氣體(ti) 用於(yu) 替代等離子體(ti) 工藝

• 易於(yu) 設置和操作。預設壓力、功率和時間設置

• 可從(cong) 前麵板或計算機界麵操作

• 可選的護罩可以覆蓋等離子自由基源上的換能器和閥門組件

• 使用腔室通風口和疏散控製裝置開始清潔

• 先進的等離子體(ti) 檢測邏輯

• 清理和錯誤日誌記錄曆史記錄並幫助故障排除

• 電子機箱：3.5"H x 19"W x 7"D (9 x 23 x 48 cm)

• 射頻功率：13.56 MHz 時為(wei) 5-20 瓦

• KF 40 真空安裝法蘭(lan) ，可提供適配法蘭(lan)

• 90-250 伏交流 50/60 赫茲(zi) 輸入

• 運費：20 磅（10 公斤）

特征：

• Windows 和安卓 GUI 軟件

• 可選的 Safar 側(ce) 麵裝載機（US 8,716,676 B2）

• 最多可容納三個(ge) TEM 載物台杆

泵規格：

• 額定流量為(wei) 4 cfm/6.8 m3/h 或更高的幹式渦旋泵。

• 選額定值為(wei) ~8 cfm/13.5 m3/h 的泵。

• 您可能需要將泵閥上的 KF16 法蘭(lan) 改造成許多低真空泵上的 KF25 法蘭(lan) 。

• 使用直徑為(wei) 2.5 厘米或更大的粗線。

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