Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，產品型號：91000-10。

Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，描述：

這種易於(yu) 使用的桌麵模型可輕鬆去除 SEM、FIB 和其他真空室中的大氣碳氫化合物和碳汙染物。

Evactron® 25 型 Zephyr 去汙器使用遠程射頻等離子體(ti) 產(chan) 生氣相自由基，這些自由基流向下遊通過腔室消除汙染。

該模型是為(wei) 使用渦輪分子泵 (TMP) 的腔室創建的。它設計用於(yu) 在 1-50 mTorr 的渦輪壓力範圍內(nei) 清潔/淨化，並且對 TMP 溫度沒有不利影響。

特征：

• 在渦輪泵壓力下清潔腔室

• 5-20 瓦射頻功率

• 清潔率提高 ≥10 倍

• 一鍵操作

• 1-50 mTorr 工作壓力

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