Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，產品型號：91000-01。

Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，描述：

Evactron E50 除汙器是緊湊、高性能但簡化的等離子清潔器，適用於(yu) 電子和離子束儀(yi) 器，如 SEM、TEM 和 FIB。E50 提供高功率清潔以實現很好的分辨率和成像，並改進受汙染影響的檢測器和探頭靈敏度。Evactron E50 等離子自由基源的緊湊設計使其成為(wei) 適用於(yu) SEM/FIB 腔室、負載鎖或樣品製備腔室的多功能解決(jue) 方案。Evactron E50 等離子清潔器可在各種壓力下提供快速、有效和強大的清潔，從(cong) 而實現高質量、無偽(wei) 影的圖像並提高樣品分析的效率。

特征：

• 射頻功率：75W 峰值，50W 連續

• 使用等離子和紫外線餘(yu) 輝的雙重清潔

• 節能射頻空心陰極等離子體(ti) (RFHC)

• 高真空下的“爆破"點火

• 可編程功率、清潔時間、循環次數、配方

• 藍牙安卓平板或有線觸摸板編程

• 寬範圍壓力操作：0.3 Pa/ 2 mTorr 至 80 Pa/ 600 mTorr

• 可選的外部互鎖連接

• 兼容 TMP，無需提前排氣

• 快速清潔，比上一代 Evactron 型號快 100 倍以上

• 不損壞敏感元件——無濺射蝕刻

• PRS 可以安裝在 SEM 室或裝載鎖上

• 按鈕清潔操作

• 等離子點火無需匹配或氣體(ti) 流量調整

• TUV、NRTL、SEMI 和 CE 合規性測試待定

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