Large Chamber Critical Point Dryer，產品型號：91090-WM。

Large Chamber Critical Point Dryer，描述：

K850WM 是緊湊型台式儀(yi) 器，設計用於(yu) 臨(lin) 界點幹燥完整的 150 毫米/6" 晶圓。方便的晶圓支架可實現快速轉移並確保不會(hui) 發生預幹燥。

K850WM 使用 E4860 循環加熱器/冷卻器內(nei) 置加熱和水冷功能。這種組合將提供 +5°C 冷卻和 +35°C 加熱期間的溫度控製。這可確保準確獲得臨(lin) 界點，避免壓力或溫度過高，或在加熱循環期間需要依靠泄壓閥來控製壓力。

K850WM 有一個(ge) 垂直腔室，可以從(cong) 頂部裝載樣品。觀察口安裝在頂板上，用於(yu) 觀察樣品。樣本交換機製使用簡單，確保樣本在加載過程中保持在液體(ti) 下。

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